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合肥科晶GSL-1100X-SPC12H加熱型等離子薄膜濺射儀

品 牌:合肥科晶

型 號:GSL-1100X-SPC12H

市場價:1

促銷價:<請聯系客服>

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石英腔體尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H 帶有不銹鋼法蘭

客服電話:021-5835-7237   180-1647-9018  

詳細介紹

產品介紹:

GSL-1100X-SPC12H是一款緊湊型加熱等離子薄膜濺射儀,專門設計為基地鍍上金屬膜,如金,鉑,銦和銀等。最大可放置樣品尺寸直徑為40mm,膜厚可達300埃,特別適用于為SEM樣品鍍上金而作為導電極。此款等離子薄膜濺射儀上自帶了所必要的配件,可立即使用,包含一個濺射靶材,真空泵,不銹鋼波紋管和快速卸裝卡箍。

輸入電源
208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W
樣品室

石英腔體尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H

帶有不銹鋼法蘭

   

襯底加熱器

載樣臺的尺寸為60 mm,可加熱到600度

一個30段可編程溫度控制器,控溫精度±1oC

推薦升溫速率:15°C/m

樣品臺的高度可以調節

樣品臺 溫控盒后視圖

真空配置

每個配件包含在內,可立即使用

儀器中配有一臺2L/S雙旋片機械泵,出氣口安裝有立式油污過濾器,過濾真空泵工作時產生的油煙,和減少泵油的損耗,保護環境和人體健康。

高純度金箔靶

進氣口 有一不銹鋼針閥安裝在儀器上,可以通入氬氣,能實現更好的等離子涂層
靶材


靶材標配

靶材包含:4N purity Gold foil:  57 mm dia. x 0.12 mm

可選靶材

外形尺寸 L480mmx W320mm x H150mm
凈重 20 kg
質保期 一年質保期,終身維護

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