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科晶GSL-3F產品介紹:
這種氣路控制系統適用于控制一種到三種氣體的通入,管式爐可以放在它上面,結合科晶集團的管式爐,它可以用于CVD系統及退火爐,用來研究氣體環境對材料的影響。
GSL-3F適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其方便多種氣體切換使用,而不會造成大氣進入加熱管。
氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便。
顯示流量準確,可有效控制氣體消耗量。
序號 | 品名 | 型號 | 數量 |
1 | 截止閥 | 160p | 4只 |
2 | 浮子流量計 | 10-100ml/min | 1只 |
16-160ml/min | 1只 | ||
25-250ml/min | 1只 | ||
3 | 混氣罐 | ф80×140mm | 1個 |
4 | 壓力真空表 | (ф60)-0.1∽0.15Mpa | 1塊 |