產品型號：NBD-HR1200-110IT-170
商品簡述：NBD HR系列高溫快速熱處理退火爐簡稱RTP。 
該產品采用成熟的制造工藝，RTP快速退火爐造型新穎結構合理； 
目前已被各種試樣實驗多次驗證，RTP快速退火爐并已廣泛用于半導體器件研發及生產等領域； 

商品主要用于： 
1.可滿足離子注入后的快速退火； 
2.也可用于歐姆接觸快速合金； 
3.還可用于硅化物合金退火，氧化物生長； 
4.以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。 
     快速熱處理退火爐簡稱 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），在原有生產制造工藝的基礎上不斷改進，現已自主研發了該款產品，不但擁有非常快的升溫速率500℃/S，而且在燒結工藝運行完結，直接將試樣在高溫區取出。退火爐實現物理狀態下的快速降溫。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝，退火爐在綠色節能環保的基礎上實現了試樣的快速升降溫！
     設備采用了內管進氣、外管出氣的氣路結構，使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。退火爐是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設備。測溫元件直接和試樣接觸，保證試樣溫度的準確性。

RTP快速退火爐主要技術參數

最高溫度：1200℃

額定溫度：1100℃

穩定狀態溫度范圍：100～1000℃

溫度測量精度：±0.2℃

溫度控制重復性：±1℃

溫度控制精確度：±1℃

溫場均勻性：±2℃

溫度狀態工藝時間（S）：2～100（100～1000℃）

最快升溫速率：500℃/S

降溫速率（℃/S）：1～200（通氮氣，速率更快）

溫度控制模式：智能模糊全閉環控制

操控系統：NBD-101智能系統

用戶界面：中英文互換

工藝菜單編輯：觸屏式圖像操作界面

擴充端口：可擴充真空測控和FFC供氣

看門狗：系統進入死循環時關閉主控制器

熱電偶校準狀態檢測：軟件校準，方便準確，軟件分析傳感器狀態是否正常

超高溫狀態檢測：軟件檢測出溫度信息出現高溫異常時，切斷主回路

觸摸屏尺寸：7"LCD

最大功率：15kw

額定電壓：AC380～400V，50Hz（60Hz定制）

傳感器類型：S型單鉑銠

反應腔室內徑尺寸：Φ100X200mm

式樣有效空間：3.5"

真空度：4.3×10-3Pa(外配分子泵）

抽氣端口尺寸：KF16（或Φ8mm寶塔嘴）

供氣口尺寸：Φ6.35mm雙卡套

冷卻方式：自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣：2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2)

外形凈尺寸（mm）：長920×深500×高560

恒溫區 （mm)：120處理晶片尺寸（in)：0~3.5管徑（內）（mm)：103最快升溫速率(℃/S：500反應腔室內徑尺寸：Φ100X200mm

功率（AC380V）：15kw