用途概述
HMDS真空干燥箱用于半導體晶圓在進行HMDS預處理工藝中的干燥，通過程序設定，使抽真空-通氮氣-抽真空-等實現自動控制，自動實現HMDS預處理工藝過程，用于光刻過程的涂膠工藝；
高真空干燥箱可在潔凈環境下使用，滿足潔凈環境下的高真空，無塵生產工藝，半導體晶圓生產工藝車間使用，用于半導體、電子、醫療衛生、儀器儀表等領域的無氧化干燥工藝；
產品特點
用智能觸摸屏控制，溫度、真空度、時間等直接設定，菜單式操作，操作維護方便；
工作室采用316不銹鋼，更好耐酸堿腐蝕，確保產品經久耐用，便于清潔；
長方形真空室，使有效容積大，能充分利用空間；
彈性雙層鋼化玻璃門觀察工作室內物體，一目了然；
箱門閉合松緊可調節，整體成型的合成硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度；
增設超溫保護溫控口，有效的防止溫度失控等安全問題；（選配）
低噪聲專業真空泵，真空控制穩定可靠；（HMDS真空干燥箱）
采用內膽加熱，箱體內無任何電子元器件，無污染，不易被腐蝕，使用更加安全；
采用超高真空泵，能夠保證箱體內真空度達1.0×10-4Pa；(高真空干燥箱)
程序控制
程序控制操作，可根據工藝需求設定加熱、真空度設定、通氮、時間等參數實現自動程序控制，確保每批次烘烤一致性，降低產品的烘烤差異性；
具有485通訊接口，可以通過外置軟件程序實施查看設備運行狀況和程序運行狀況，保證設備一直運行在監控當中；

上海一恒BPZ-6060MS真空干燥箱技術參數
控溫范圍：RT+10～250℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動度：±1℃
達到真空度：100Pa
真空顯示：電子式真空度顯示
內膽尺寸(W×D×H)：400×400×400mm
外形尺寸(W×D×H)：600×570×1390mm
擱板：2塊
加熱方式：內膽加熱
工作室材料：316不銹鋼
輸入功率：3000W
電源電壓：AC220V 50HZ

注：性能參數測試在空載條件下為：環境溫度20℃，環境濕度50%RH
注：外殼可定制為304不銹鋼材質